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返回電子潔凈車間的潔凈度和換氣標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范

發(fā)布時間:2025-01-03 瀏覽次數(shù):56
  電子潔凈車間的潔凈度等級劃分  電子潔凈車間的潔凈度等級通常根據(jù)ISO 14...

  電子潔凈車間的潔凈度等級劃分  

電子潔凈車間的潔凈度等級通常根據(jù)ISO 14644標(biāo)準(zhǔn)或類似的國際/國內(nèi)標(biāo)準(zhǔn)來劃分。ISO 14644標(biāo)準(zhǔn)將潔凈度等級分為ISO 5至ISO 9級,其中ISO 5級潔凈度更高,ISO 9級潔凈度更低。在電子凈化車間中,通常需要達(dá)到ISO 5至ISO 7級的潔凈度等級,以保證電子產(chǎn)品的生產(chǎn)質(zhì)量?! ?/p>

ISO 5級:每立方米空氣中直徑大于0.5微米的塵埃顆粒數(shù)不超過3,520個。這一級別適用于對潔凈度要求極高的電子產(chǎn)品生產(chǎn),如半導(dǎo)體芯片制造等。在這些領(lǐng)域,任何微小的顆粒都可能對產(chǎn)品的性能和可靠性產(chǎn)生嚴(yán)重影響?! ?/p>

ISO 6級:每立方米空氣中直徑大于0.5微米的塵埃顆粒數(shù)不超過8,830個。這一級別適用于對潔凈度要求較高的電子產(chǎn)品生產(chǎn)。雖然相較于ISO 5級,ISO 6級的潔凈度略有降低,但仍然能夠滿足大多數(shù)高端電子產(chǎn)品的生產(chǎn)需求?! ?/p>

ISO 7級:每立方米空氣中直徑大于0.5微米的塵埃顆粒數(shù)不超過29,300個。這一級別適用于一般潔凈度要求的電子產(chǎn)品生產(chǎn)。在ISO 7級潔凈度下,雖然空氣中的顆粒濃度相對較高,但仍然能夠確保產(chǎn)品的基本質(zhì)量和性能?! ?/p>

電子潔凈車間的換氣標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范  

為了確保電子潔凈車間的潔凈度達(dá)到規(guī)定等級,必須嚴(yán)格控制車間的換氣次數(shù)和換氣方式。換氣次數(shù)是指單位時間內(nèi)車間內(nèi)空氣被更新的次數(shù),它直接影響車間內(nèi)空氣的潔凈度和穩(wěn)定性?! ?/p>

換氣次數(shù)的確定:根據(jù)我國的《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》(GB 50073-2001),不同級別的非單向流潔凈室潔凈送風(fēng)量計算所需的經(jīng)驗換氣次數(shù)有所不同。對于層高小于4.0m的潔凈室,換氣次數(shù)應(yīng)根據(jù)潔凈度等級和室內(nèi)人數(shù)、熱源等因素來確定。一般來說,大于100,000級的潔凈室換氣次數(shù)不小于12次/小時,而更高潔凈度等級的潔凈室則需要更高的換氣次數(shù)?! ?/p>

換氣方式的選擇:電子潔凈車間的換氣方式通常包括單向流換氣和非單向流換氣兩種。單向流換氣是指空氣從潔凈區(qū)的一側(cè)流向另一側(cè),形成單向流動,適用于對潔凈度要求極高的場合。非單向流換氣則是指空氣在車間內(nèi)形成渦流或混合流動,適用于一般潔凈度要求的場合。在選擇換氣方式時,應(yīng)根據(jù)車間的實際情況和潔凈度要求來確定?! ?/p>

空氣過濾系統(tǒng)的配置  

為了確保電子潔凈車間的潔凈度達(dá)到規(guī)定等級,必須配置高效的空氣過濾系統(tǒng)。空氣過濾系統(tǒng)通常包括初效過濾器、中效過濾器和高效過濾器(如HEPA過濾器或ULPA過濾器)等各級別的過濾器?! ?/p>

初效過濾器:初效過濾器是空氣過濾系統(tǒng)的道防線,主要用于去除空氣中的大顆粒污染物,如灰塵、毛發(fā)等。初效過濾器的過濾效率較低,但能夠有效地延長后續(xù)過濾器的使用壽命?! ≈行н^濾器:中效過濾器位于初效過濾器和高效過濾器之間,用于去除空氣中的中等大小顆粒污染物。中效過濾器的過濾效率較高,能夠有效地去除空氣中的細(xì)菌、病毒等微生物?! 「咝н^濾器:高效過濾器是空氣過濾系統(tǒng)的更后一道防線,用于去除空氣中的微小顆粒污染物,如塵埃粒子、病毒等。高效過濾器的過濾效率極高,能夠有效地確保車間內(nèi)空氣的潔凈度達(dá)到規(guī)定等級?! ?/p>

正壓控制與空氣流動控制  

為了確保電子潔凈車間的潔凈度不受外部環(huán)境的影響,必須保持車間的正壓狀態(tài),并通過合理的空氣流動控制來實現(xiàn)?! ?/p>

正壓控制:正壓控制是指通過調(diào)節(jié)車間的進(jìn)風(fēng)量和排風(fēng)量,使車間內(nèi)的氣壓高于外部環(huán)境的氣壓。這樣,外部空氣和污染物就無法通過門窗等縫隙進(jìn)入車間內(nèi),從而確保車間的潔凈度不受影響。為了實現(xiàn)正壓控制,通常需要配置正壓控制系統(tǒng)和壓差指示裝置?! ?/p>

空氣流動控制:空氣流動控制是指通過合理布置進(jìn)風(fēng)口和排風(fēng)口,并通過風(fēng)機和風(fēng)道系統(tǒng)控制空氣的流向和速度。這樣,就能夠確保車間內(nèi)的空氣潔凈度均勻分布,避免出現(xiàn)局部污染的情況。為了實現(xiàn)空氣流動控制,通常需要配置空氣流動控制系統(tǒng)和風(fēng)速監(jiān)測裝置?! ?/p>

溫濕度控制與微生物控制  

除了空氣過濾和換氣控制外,還需要嚴(yán)格控制車間內(nèi)的溫濕度和微生物含量,以確保產(chǎn)品的質(zhì)量和生產(chǎn)環(huán)境的穩(wěn)定性?! ?/p>

溫濕度控制:車間內(nèi)的溫度和濕度需要控制在適宜的范圍內(nèi),以確保產(chǎn)品的質(zhì)量和生產(chǎn)環(huán)境的穩(wěn)定性。一般來說,溫度應(yīng)控制在22℃±2℃的范圍內(nèi),相對濕度應(yīng)控制在55%±5%的范圍內(nèi)。為了實現(xiàn)溫濕度控制,通常需要配置除濕設(shè)備、溫度控制系統(tǒng)和加濕設(shè)備等?! ?/p>

微生物控制:微生物控制是指通過采取一系列措施來減少車間內(nèi)微生物的含量,以避免對產(chǎn)品造成污染。常見的微生物控制措施包括定期消毒、使用無菌操作工具、控制人員流動等。此外,還可以通過配置微生物監(jiān)測裝置來實時監(jiān)測車間內(nèi)的微生物含量,以便及時采取措施進(jìn)行處理。

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